名稱：鍍膜機
鍍膜機：
UNIVEX 為萊寶真空生產的專門用於實驗室研發和小
批量生產的小型鍍留下膜機』，它可以滿足用戶的不同而後又同時需求，並可
根據用戶的具體要求※特殊設計。
UNIVEX 有多種形式或附件可︾供選擇：
1. 外型：鐘罩式或箱式
2. 大小：內徑300mm，450mm，490mm
3. 源的個數：單個或」多個
4. 蒸發方式：電加熱；電子束思忖了片刻蒸發；直流和㊣ 射頻濺射；
離子輔助沈積
5. 基片旋轉：普朱俊州果然夠猛通電機驅動，步進電機驅動△；行星旋
轉
6. 基片處理：基片加熱；基片冷卻；基片射頻偏壓得以感覺到；
基片溫度控〓制
7. 膜系：單層，多層，多種材料同時沈積№
8. 膜厚：膜厚測量異能儀；膜厚控【制儀
9. 輝光清洗；擋板
10. 高真空泵：分子泵或丫低溫泵
11. 前級∴真空泵，有油泵或無油泵
12. 控制方式：手動，半自動，全自動
13. 預真空室
