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      名稱:鍍膜機
    鍍膜機:
    UNIVEX 為萊寶真空生產的專門用於實驗室研發和小
    批量生產的小型鍍留下膜機』,它可以滿足用戶的不同而後又同時需求,並可
    根據用戶的具體要求※特殊設計。
    UNIVEX 有多種形式或附件可︾供選擇:
    1. 外型:鐘罩式或箱式
    2. 大小:內徑300mm,450mm,490mm
    3. 源的個數:單個或」多個
    4. 蒸發方式:電加熱;電子束思忖了片刻蒸發;直流和㊣ 射頻濺射;
    離子輔助沈積
    5. 基片旋轉:普朱俊州果然夠猛通電機驅動,步進電機驅動△;行星旋

    6. 基片處理:基片加熱;基片冷卻;基片射頻偏壓得以感覺到;
    基片溫度控〓制
    7. 膜系:單層,多層,多種材料同時沈積№
    8. 膜厚:膜厚測量異能儀;膜厚控【制儀
    9. 輝光清洗;擋板
    10. 高真空泵:分子泵或丫低溫泵
    11. 前級∴真空泵,有油泵或無油泵
    12. 控制方式:手動,半自動,全自動
    13. 預真空室
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